石英玻璃微纳结构低碳纳米压印技术

本项目革新纯二氧化硅玻璃的微纳结构制造技术，以创新纳米压印技术，取代传统方法如飞秒激光直写或反应离子刻蚀等高能耗、高成本、依赖聚合物且流程复杂的方法。技术采用自主研发的无聚合物前驱体，可在低温下快速烧结，避免碳残留并大减能耗，制成光学性能极佳的高纯度二氧化硅玻璃结构。此技术具备大面积、可扩展的生产优势，能应用于VR/AR衍射光学、光子晶体、微透镜阵列等领域，满足光子与光电产业对高性能、低成本及绿色制造的需求。